リニアステージ
LDQ ファミリー｜長距離リニアモーターステージ
- 最大スループットと信頼性を実現する非接触ボイスコイルダイレクトドライブモーター
- 1nm分解能エンコーダと10nmステップサイズ
- 15msの移動・整定時間でイメージングスループットを最大化
- 垂直方向に対応する調整可能な摩擦のない磁気カウンターバランス
- トリガー出力とエンコーダ出力をサポートする内蔵コントローラと、高度な自動化のための無料ソフトウェアにより、統合を簡素化
スペック
Spec- 最短ストローク長
- 10 mm
- 最長ストローク長
- 10 mm
- 最高精度
- 8 µm
- 繰り返し精度
- < 0.05 µm
- 最小増分
- 10 nm
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