LSM-V2シリーズ 高真空対応小型電動リニアステージ
LSM-V2シリーズ 高真空対応小型電動リニアステージ
• 移動量:25、50、100、150、200 mm
• 最大速度:100 mm/s、最大推力:35 N
• 耐荷重:10 kg
• X-MCCシリーズステッピングモーターコントローラーまたは任意の2相ステッピングモーターコントローラーと併用するように設計されています
• これらのユニットを制御するために必要なフィードスルーワイヤーはわずか7本です
• カスタムバージョンもご用意しております
特徴
このシリーズについて
真空システムの基礎知識と、アプリケーションの要件をまとめる際に考慮すべき事項の詳細については、当社の技術記事「真空アプリケーションにおけるモーションデバイス設計の考慮事項」をご覧ください。
Zaber社のLSM-V2シリーズは、高真空対応のコンピュータ制御式電動リニアステージで、高い推力と速度、そしてコンパクトなサイズを実現しています。
高さわずか21mmのこれらの小型ステージは、小型化が求められるアプリケーションに最適です。LSM-V2は、真空対応材料を使用して設計されており、ガス放出を最小限に抑え、ポンプダウン時間を短縮します。Zaber社の他の製品と同様に、LSM-V2シリーズは非常に簡単にセットアップと操作ができるように設計されています。
これらのステージは、X-MCCシリーズステッピングモーターコントローラーとプラグアンドプレイで使用できるよう、D-sub 15ピンオスコネクタで配線されています。真空内ではコネクタを切断し、真空外で配線を合わせるだけで簡単に接続できます。当社の便利なキットには、無料のソフトウェアと、箱から出してすぐにステージを稼働させるために必要なすべてのアクセサリが含まれています。
1. これらのユニットを制御するために必要なフィードスルー配線はわずか7本です。
2. 1回転あたり200ステップのステッピングモーターを搭載し、最大256倍のマイクロステップ制御により、スムーズで高精度な動作を実現します。
3. 高真空対応ステッピングモーター(定格圧力10-6 Torr)。
4. ステージトップは、M4センターマウントを備えたM3およびM6メトリックネジ穴に対応し、取り外してXYプロファイルを低くすることも可能です。
5. 移動距離は25~200mmで、カスタム長さも承ります。
6. 革新的な設計により、優れた速度と耐荷重性能を実現。最大速度100mm/s、耐荷重10kg。
7. 追加のハードウェアなしで、複数のLSM-SV2ステージをXYまたはXYZ構成で組み立てることができます。

簡単なセットアップ
簡単セットアップ
わずか4本のフィードスルーワイヤで複数のデバイスを制御・給電
1. コンピューターと真空チャンバーの間にデータケーブルと電源ケーブルを接続します。
2. コントローラー内蔵デバイスは、4本のフィードスルーワイヤ*を介して真空チャンバー内で電力とデータを受信します。
3. Zaber Launcherを使用して指示を送信したり、セットアップを自動化したりできます。
* Xシリーズデバイスの場合、電源はX-PIBを介して供給されます。Tシリーズデバイスの場合、電源供給には5本のフィードスルーワイヤとT-DSUB9-Pが必要です。
真空デバイスのセットアップの詳細については、技術記事「真空アプリケーションにおけるモーションデバイス設計の考慮事項」をご覧ください。
デバイスのセットアップに関する追加情報については、サポートページをご覧ください。スタートガイド、トラブルシューティングガイド、製品ユーザーマニュアル、その他のリソースが掲載されています。
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仕様
内蔵コントローラ
- ×
推奨コントローラ
- X-MCC (48 V)
自動検出
- ×
エンコーダタイプ
- ×
最大連続推力
- 25 N (5.6 lb)
最大中心荷重
- 100 N (22.4 lb)
最大モーメント (ロール)
- 300 N⋅cm (424.8 oz⋅in)
最大モーメント (ピッチ)
- 300 N⋅cm (424.8 oz⋅in)
最大モーメント (ヨー)
- 300 N⋅cm (424.8 oz⋅in)
ガイドタイプ
- ニードルローラーベアリング
ピッチの剛性
- 55 N⋅m/° (317 µrad/N⋅m)
ロールの剛性
- 52.5 N⋅m/° (332 µrad/N⋅m)
ヨーの剛性
- 85 N⋅m/° (205 µrad/N⋅m)
モーターステップ数(回転あたり)
- 200
モータータイプ
- ステッピングモーター(2相)
モーター定格電流
- 800 mA/相
インダクタンス
- 3.5 mH/相
モーター接続
- D-sub15コネクタ付きテフロンフライングリード
デフォルト解像度
- 1/64 ステップ
機械駆動システム
- 精密リードスクリュー
リミットまたはホームセンシング
- 磁気ホールセンサー
手動制御(ノブ)
- ×
動作軸数
- 1
LED インジケーター
- 〇
取り付けインターフェース
- M3 および M6 ネジ穴と M4 ネジ中心穴
ステージ平行度
- < 25 µm (< 0.000984")
動作温度範囲
- 0 ~ 50 °C
RoHS 準拠
- 〇
CE 準拠
- 〇
真空対応
- 低真空 (10-6 Torr)
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テクニカルサポート&図面ファイル
DLデータシート
SolidWorks ファイル(.sldasm)
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ソフトウェアとAPIリファレンス
Specifications
型番仕様
型番/スペックシートDL | 概要 | リードタイム | 見積もり/お問い合わせ | ||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
型番/スペックシートDL | X-LSM025A-E03 | 概要 | 25 mm 移動 | 高解像度 | 低速 | リードタイム | 7-12 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
型番/スペックシートDL | X-LSM025A-SE03 | 概要 | 25 mm 移動 | 高解像度 | 低速 | リードタイム | 7-12 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
型番/スペックシートDL | X-LSM025B-E03 | 概要 | 25 mm 移動 | 中解像度 | 中速 | リードタイム | 7-12 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
型番/スペックシートDL | X-LSM025B-SE03 | 概要 | 25 mm 移動 | 中解像度 | 中速 | リードタイム | 7-12 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
型番/スペックシートDL | X-LSM050A-E03 | 概要 | 50 mm 移動 | 高解像度 | 低速 | リードタイム | 7-12 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
型番/スペックシートDL | X-LSM050A-SE03 | 概要 | 50 mm 移動 | 高解像度 | 低速 | リードタイム | 7-12 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
型番/スペックシートDL | X-LSM050B-E03 | 概要 | 50 mm 移動 | 中解像度 | 中速 | リードタイム | 7-12 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
型番/スペックシートDL | X-LSM050B-SE03 | 概要 | 50 mm 移動 | 中解像度 | 中速 | リードタイム | 7-12 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
型番/スペックシートDL | X-LSM100A-E03 | 概要 | 100 mm 移動 | 高解像度 | 低速 | リードタイム | 7-12 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
型番/スペックシートDL | X-LSM100A-SE03 | 概要 | 100 mm 移動 | 高解像度 | 低速 | リードタイム | 7-12 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
型番/スペックシートDL | X-LSM100B-E03 | 概要 | 100 mm 移動 | 中解像度 | 中速 | リードタイム | 7-12 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
型番/スペックシートDL | X-LSM100B-SE03 | 概要 | 100 mm 移動 | 中解像度 | 中速 | リードタイム | 7-12 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
型番/スペックシートDL | X-LSM150A-E03 | 概要 | 150 mm 移動 | 高解像度 | 低速 | リードタイム | 7-12 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
型番/スペックシートDL | X-LSM150A-SE03 | 概要 | 150 mm 移動 | 高解像度 | 低速 | リードタイム | 7-12 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
型番/スペックシートDL | X-LSM150B-E03 | 概要 | 150 mm 移動 | 中解像度 | 中速 | リードタイム | 7-12 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
型番/スペックシートDL | X-LSM150B-SE03 | 概要 | 150 mm 移動 | 中解像度 | 中速 | リードタイム | 7-12 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
型番/スペックシートDL | X-LSM200A-E03 | 概要 | 200 mm 移動 | 高解像度 | 低速 | リードタイム | 7-12 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
型番/スペックシートDL | X-LSM200A-SE03 | 概要 | 200 mm 移動 | 高解像度 | 低速 | リードタイム | 7-12 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
型番/スペックシートDL | X-LSM200B-E03 | 概要 | 200 mm 移動 | 中解像度 | 中速 | リードタイム | 7-12 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
型番/スペックシートDL | X-LSM200B-SE03 | 概要 | 200 mm 移動 | 中解像度 | 中速中速 | リードタイム | 7-12 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
Accessories
互換アクセサリ
ケーブルとコネクタ
型番/スペックシートDL | 概要 | リードタイム | 見積もり/お問い合わせ | ||||
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型番/スペックシートDL | MC03 | 概要 | モーター延長ケーブル(1.5 m)X-MCA、X-MCB1、X-MCB2シリーズコントローラおよびT3/T4/T3A/T4A周辺機器用 | リードタイム | 7-12 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
型番/スペックシートDL | MC03L060 | 概要 | モーター延長ケーブル(0.6 m)X-MCA、X-MCB1、X-MCB2シリーズコントローラおよびT3/T4/T3A/T4A周辺機器用 | リードタイム | 7-12 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
型番/スペックシートDL | MC03L300 | 概要 | モーター延長ケーブル(3.0 m)X-MCA、X-MCB1、X-MCB2シリーズコントローラおよびT3/T4/T3A/T4A周辺機器用 | リードタイム | 7-12 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
型番/スペックシートDL | MC10T3 | 概要 | モーター変換ケーブル(1.5 m)X-MCCシリーズコントローラおよびT3A/T4A/T11A周辺機器用 | リードタイム | 7-12 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
型番/スペックシートDL | MC10T3L060 | 概要 | モーター変換ケーブル(0.6 m)X-MCCシリーズコントローラおよびT3A/T4A/T11A周辺機器用 | リードタイム | 7-12 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
型番/スペックシートDL | MC10T3L300 | 概要 | モーター変換ケーブル3.0 m、X-MCCシリーズコントローラおよびT3A/T4A/T11A周辺機器用 | リードタイム | 7-12 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
型番/スペックシートDL | MC10T3L450 | 概要 | モーター変換ケーブル、4.5 m、X-MCCシリーズコントローラおよびT3A/T4A/T11A周辺機器用 | リードタイム | 7-12 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
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取り付け用ハードウェア
型番/スペックシートDL | 概要 | リードタイム | 見積もり/お問い合わせ | ||||
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型番/スペックシートDL | AB103-V | 概要 | ミニチュアアングルブラケット(90度)、真空対応 | リードタイム | 7-12 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
型番/スペックシートDL | AP101-V | 概要 | X-LSM-SV ボトムアダプタプレート(真空対応) | リードタイム | 7-12 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
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