LRQ-V1シリーズ 低真空電動リニアステージ
LRQ-V1シリーズ 低真空電動リニアステージ
• 移動量:75、150、300、450、600 mm
• 最大速度205 mm/s、最大推力100 N
• 耐荷重100 kg
• X-MCCシリーズステッピングモーターコントローラーまたは任意の2相ステッピングモーターコントローラーと併用するように設計されています
• これらのユニットを制御するために必要なフィードスルーワイヤーはわずか7本です
特徴
このシリーズについて
真空システムの基礎知識と、アプリケーションの要件をまとめる際に考慮すべき事項の詳細については、当社の技術記事「真空アプリケーションにおけるモーションデバイス設計の考慮事項」をご覧ください。
Zaber社のLRQ-V1シリーズは、低真空対応のコンピュータ制御式電動リニアステージで、コンパクトなサイズでありながら、高い剛性、耐荷重性、長寿命性を備えています。高さわずか36mmのこれらの真空ステージは、薄型設計が求められるアプリケーションに最適です。LRQ-V1の革新的な設計により、最大205mm/sの速度と最大100kgの荷重に対応します。Zaber社の他の製品と同様に、LRQ-V1シリーズはセットアップと操作が非常に容易な設計となっています。これらのステージは、ボルトで固定してXYシステムを構築できます。
これらのステージは、D-Sub 15ピンオスコネクタで配線されており、X-MCCシリーズステッピングモーターコントローラーとプラグアンドプレイで使用できます。真空中の配線を切断し、真空外で配線を合わせるだけで簡単に接続できます。当社の便利なキットには、無料のソフトウェアと、箱から出してすぐにステージを動作させるために必要なすべてのアクセサリが含まれています。
1. これらのユニットを制御するために必要なフィードスルー配線はわずか7本です。
2. 1回転あたり200ステップのステッピングモーターを搭載し、最大256倍のマイクロステップ制御により、スムーズで高精度な動作を実現します。
3. 低真空対応ステッピングモーター(定格圧力10-3 Torr)。
4. ステージトップは、M4センターマウントを備えたM3およびM6メトリックネジ穴に対応しています。
5. 移動距離は75~600mmで、カスタム長さも承ります。
6. 革新的な設計により、優れた速度と耐荷重性能を実現。最大速度205mm/s、耐荷重100kg。
7. 追加のハードウェアなしで、複数のLRQ-SV1ステージをXYまたはXYZ構成で組み立てることができます。

簡単なセットアップ
簡単セットアップ
わずか4本のフィードスルーワイヤで複数のデバイスを制御・給電
1. コンピューターと真空チャンバーの間にデータケーブルと電源ケーブルを接続します。
2. コントローラー内蔵デバイスは、4本のフィードスルーワイヤ*を介して真空チャンバー内で電力とデータを受信します。
3. Zaber Launcherを使用して指示を送信したり、セットアップを自動化したりできます。
* Xシリーズデバイスの場合、電源はX-PIBを介して供給されます。Tシリーズデバイスの場合、電源供給には5本のフィードスルーワイヤとT-DSUB9-Pが必要です。
真空デバイスのセットアップの詳細については、技術記事「真空アプリケーションにおけるモーションデバイス設計の考慮事項」をご覧ください。
デバイスのセットアップに関する追加情報については、サポートページをご覧ください。スタートガイド、トラブルシューティングガイド、製品ユーザーマニュアル、その他のリソースが掲載されています。
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仕様
内蔵コントローラ
- ×
推奨コントローラー
- X-MCC (48 V)
自動検出
- ×
繰り返し精度
- < 2.5 µm (< 0.000098")
最大中心荷重
- 1000 N (224.3 lb)
最大モーメント (ロール)
- 30 N⋅m (22.1 ft⋅lb)
最大モーメント (ピッチ)
- 30 N⋅m (22.1 ft⋅lb)
最大モーメント (ヨー)
- 30 N⋅m (22.1 ft⋅lb)
ガイドタイプ
- 循環式ボールリニアガイド
回転剛性(ピッチ)
- 500 N⋅m/° (35 µrad/N⋅m)
回転剛性(ロール)
- 1180 N⋅m/° (15 µrad/N⋅m)
回転剛性(ヨー)
- 450 N⋅m/° (39 µrad/N⋅m)
モーターステップ数(1回転あたり)
- 200
モータータイプ
- ステッピングモーター(2相)
モーター定格電流
- 2100 mA/相
インダクタンス
- 2.8mH/相
モーター接続
- D-sub15コネクタ付きテフロンフライングリード
デフォルト分解能
- 1/64 ステップ
機械駆動システム
- 精密リードスクリュー
リミットまたはホームセンシング
- 磁気式ホームセンサー
手動制御(ノブ)
- ×
動作軸
- 1
取り付けインターフェース
- M6 および M3 ネジ穴
動作温度範囲
- 0 ~ 50 °C
CE 準拠
- 〇
真空対応
- 低真空(10-3 Torr)
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テクニカルサポート&図面ファイル
DLデータシート
2D図面
STEPファイル(.step)
SolidWorks ファイル(.sldasm)
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ソフトウェアとAPIリファレンス
Specifications
型番仕様
| 型番/スペックシートDL | 概要 | リードタイム | 見積もり/お問い合わせ | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型番/スペックシートDL | LRQ075AL-V1T4-Datasheet.pdf | 概要 | 75 mm 移動量 | 高精細解像度 | 低速 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | LRQ075BL-V1T4-Datasheet.pdf | 概要 | 75 mm 移動量 | 中解像度 | 中速 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | LRQ150AL-V1T4-Datasheet.pdf | 概要 | 150 mm 移動量 | 高精細解像度 | 低速 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | LRQ150BL-V1T4-Datasheet.pdf | 概要 | 150 mm 移動量 | 中解像度 | 中速 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | LRQ300AL-V1T4-Datasheet.pdf | 概要 | 300 mm 移動量 | 高精細解像度 | 低速 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | LRQ300BL-V1T4-Datasheet.pdf | 概要 | 300 mm 移動量 | 中解像度 | 中速 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | LRQ450AL-V1T4-Datasheet.pdf | 概要 | 450 mm 移動量 | 高精細解像度 | 低速 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | LRQ450BL-V1T4-Datasheet.pdf | 概要 | 450 mm 移動量 | 中解像度 | 中速 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | LRQ600AL-V1T4-Datasheet.pdf | 概要 | 600 mm 移動量 | 高精細解像度 | 低速 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | LRQ600BL-V1T4-Datasheet.pdf | 概要 | 600 mm 移動量 | 中解像度 | 中速 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
Accessories
互換アクセサリ
ケーブルとコネクタ
| 型番/スペックシートDL | 概要 | リードタイム | 見積もり/お問い合わせ | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型番/スペックシートDL | MC03 | 概要 | モーター延長ケーブル(1.5 m)、X-MCA、X-MCB1、X-MCB2シリーズコントローラおよびT3/T4/T3A/T4A周辺機器用 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | MC03L060 | 概要 | モーター延長ケーブル(0.6 m)、X-MCA、X-MCB1、X-MCB2シリーズコントローラおよびT3/T4/T3A/T4A周辺機器用 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | MC03L300 | 概要 | モーター延長ケーブル(3.0 m)、X-MCA、X-MCB1、X-MCB2シリーズコントローラおよびT3/T4/T3A/T4A周辺機器用 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | MC10T3 | 概要 | モーター変換ケーブル(1.5 m)、X-MCCシリーズコントローラおよびT3A/T4A/T11A周辺機器用 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | MC10T3L060 | 概要 | モーター変換ケーブル(0.6 m)、X-MCCシリーズコントローラおよびT3A/T4A/T11A周辺機器用 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | MC10T3L300 | 概要 | モーター変換ケーブル(3.0 m)、X-MCCシリーズコントローラおよびT3A/T4A/T11A周辺機器用 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | MC10T3L450 | 概要 | モーター変換ケーブル(4.5 m)、X-MCCシリーズコントローラおよびT3A/T4A/T1A周辺機器用 |
リードタイム | 14-21 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
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エレクトロニクス&センサー
| 型番/スペックシートDL | 概要 | リードタイム | 見積もり/お問い合わせ | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型番/スペックシートDL | X-PIB | 概要 | Xシリーズデイジーチェーンに24~48V電源を追加するためのデバイス | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
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取り付け用ハードウェア
| 型番/スペックシートDL | 概要 | リードタイム | 見積もり/お問い合わせ | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型番/スペックシートDL | 164-V | 概要 | アングルブラケット、90度、大型、LRQ、真空対応 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
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