X-DMA-AEZシリーズ コントローラとリニアエンコーダを内蔵したダイレクトドライブ式リニアステージ
X-DMA-AEZシリーズ コントローラとリニアエンコーダを内蔵したダイレクトドライブ式リニアステージ
• 最大1 kgのペイロードに対応する、ユーザーが調整可能なパッシブ磁気カウンターバランスを搭載。
• 10 nmの最小増分移動で、50 nmの高い繰り返し精度を実現。
• 1 nm分解能のリニアエンコーダによる直接位置測定。
• 高精度、高ダイナミック性能、高信頼性を実現する非接触ダイレクトドライブモーター。
• コントローラー内蔵。他のZaber製品とのデイジーチェーン接続が可能。
• 外部システムとのインターフェース用に、デジタルI/O、アナログ入力、およびオプションのエンコーダ出力を搭載。
特徴
本シリーズについて
Zaber社のX-DMA-AEZシリーズは、コンピュータ制御によるダイレクトドライブ式リニアステージです。X-DMA-AEステージの高速性、高精度、高信頼性を継承しつつ、垂直動作向けに特別に設計された磁気カウンターバランスを内蔵しています。高分解能リニアエンコーダにより、50nm以下の繰り返し精度と10nmまでの安定したステップ動作を実現します。低摩擦・高剛性のクロスローラーベアリングを採用することで、高速なステップ動作と安定動作を実現。さらに、アンチクリープベアリングケージにより、垂直動作時や高加速度動作時におけるケージクリープを抑制します。駆動部とエンコーダは非接触式で、可動ケーブルもないため、極めて堅牢なシステムとなっています。
ステージに直接内蔵されたパッシブ式摩擦レス磁気カウンターバランスは、最大1kgのペイロードを補償し、電源喪失時の不要な動きを防止します。カウンターバランスの力は、1本のネジで数秒で微調整可能です。
X-DMA-AEZはスタンドアロンユニットで、標準的な24Vまたは48V電源のみで動作します。これらのデバイスは、あらゆるコンピュータのRS-232ポートまたはUSBポートに接続でき、他のZaber製品とデイジーチェーン接続できます。デイジーチェーン接続では電源も共有されるため、複数のXシリーズ製品で単一の電源を共有できます。Zaberのすべての製品と同様に、X-DMA-AEZシリーズは「プラグアンドプレイ」設計で、セットアップと操作が非常に簡単です。X-DMA-AEZデバイスには、外部システムとのインターフェース用に、2つのデジタル入力、1つのデジタル出力、および1つのアナログ入力も備わっています。イベント駆動型トリガーシステムにより、I/O、時間、または動作刺激に基づいて、デバイスをスタンドアロン動作するようにプログラムできます。
1. デイジーチェーン接続されたすべてのユニットは、シリアルポート（ロック機構付きX-SDCケーブル使用）またはUSB（X-USBDCケーブル使用）経由で制御できます。
2. ロック機構付きX-DC02ケーブルまたはX-DC06ケーブルを使用して、追加のユニットをデイジーチェーン接続できます。電源もチェーン内で共有可能です。
3. パッシブ磁気カウンターバランスにより、最大1kgのペイロードを補償します。カウンターバランス力は数秒で微調整できます。
4. サーボチューニングパラメータは、無料ソフトウェアを使用して、あらゆるペイロード質量に合わせて自動的に最適化できます。パラメータはリアルタイムで調整可能です。
5. X-DMA-AEZステージは、極めて高い信頼性を実現するように設計されています。可動ケーブルがなく、非接触駆動とエンコーダを組み合わせることで、非常に堅牢なシステムを実現しています。
6. 超滑らかなクロスローラーベアリングとアンチクリープベアリングケージにより、長寿命と高剛性を実現しています。
7. ダイレクトドライブボイスコイルモーターは、優れた動的性能を発揮し、メンテナンスフリーです。
8．外部システムとのインターフェース用に、デジタル入力2系統、デジタル出力1系統、アナログ入力1系統を備えています。補間処理されたRS422エンコーダ出力も利用可能です。
簡単なセットアップ
Zaber のデバイスはデイジー チェーンを通じてデータと電力の両方を共有できるため、ケーブル配線が削減され、セットアップが 1、2、3 と簡単になります。
- Zaber デバイスを USB または RS-232 ポート経由でコンピューターに接続します。
- Zaber デバイスに電源を接続します。
- Zaber Launcherを使用して指示を送信したり、セットアップを自動化したりできます。
デイジー チェーン接続の詳細については、当社の技術記事「データと電源のデイジー チェーン接続によるケーブル接続の削減」をお読みください。また、システムに必要なアクセサリを判断するには、当社の接続ガイド ツールをお試しください。
デバイスのセットアップに関する追加情報については、スタートガイド、トラブルシューティングガイド、製品ユーザーマニュアル、その他のリソースを含むサポートページをご覧ください。
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仕様
内蔵コントローラ
- 〇
移動範囲
- 10 mm (0.394")
精度（一方向）
- 8 µm (0.000315")
繰り返し精度
- < 0.05 µm (< 0.000002")
最小インクリメンタル移動量
- 10 nm
最小速度
- 0.61 nm/s
速度分解能
- 0.61 nm/s
エンコーダータイプ
- リニアアナログエンコーダ
エンコーダカウント数
- 1 nm
最大推力
- 15 N (3.4 lb)
最大連続推力
- 5 N (1.1 lb)
通信インターフェース
- RS-232
通信プロトコル
- Zaber ASCII (デフォルト)
データケーブル接続
- ロック式4ピンM8
カウンターバランスタイプ
- 磁気式
カウンターバランスペイロード範囲
- 2.5-10 N (0.6-2.2 lb)
電源
- 48 VDC
電源プラグ
- 2ピン ネジ端子
モータータイプ
- 可動マグネットトラックリニアモーター
力定数
- 3.7 N/A (0.8 lbs/A)
ガイドタイプ
- ムービングマグネットボイスコイル
リミットまたはホームセンシング
- 光学インデックスマーク
マニュアルコントロール
- ×
動作軸
- 1
LED インジケーター
- 〇
取り付けインターフェース
- M3とM6 ネジ穴
可動質量
- 0.18 kg (0.396 lbs)
デジタル入力
- 2
デジタル出力
- 1
アナログ出力
- 1
動作温度範囲
- 0 ～ 50 °C
真空対応
- ×
標準移動・整定時間（100 nm移動、< 15 nm、250 g負荷）
- < 15 ms
標準移動・整定時間（250 nm移動、< 15 nm、250 g負荷）
- < 15 ms
重量
- 0.53 kg (1.168 lb)
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テクニカルサポート&図面ファイル
DLデータシート
2D図面
STEPファイル(.step)
SolidWorks ファイル(.sldasm)
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ソフトウェアとAPIリファレンス
Specifications
型番仕様
| 型番/スペックシートDL | 概要 | リードタイム | 見積もり／お問い合わせ | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型番/スペックシートDL | X-DMA10A-AE55ZJ2T17-Datasheet.pdf | 概要 | 入出力機能付き内蔵コントローラ | リードタイム | 14-21日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | X-DMA10A-AE55ZJ2T17Q-Datasheet.pdf | 概要 | 入出力機能と補間RS422エンコーダ出力付き内蔵コントローラ | リードタイム | 14-21日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
Accessories
互換アクセサリ
ケーブルとコネクタ
| 型番/スペックシートDL | 概要 | リードタイム | 見積もり／お問い合わせ | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型番/スペックシートDL | X-DC01 | 概要 | データケーブル、0.3m (1フィート)、Xシリーズ製品 | リードタイム | 14-21日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | X-DC01-F45 | 概要 | データケーブル、0.3m (1フィート)、L字型メスコネクタ、Xシリーズ製品 | リードタイム | 14-21日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | X-DC01-F45-M45 | 概要 | データケーブル、0.3m (1フィート)、L字型コネクタ、Xシリーズ製品 | リードタイム | 14-21日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | X-DC02 | 概要 | データケーブル、0.6m (2フィート)、Xシリーズ製品 | リードタイム | 14-21日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | X-DC02-F45 | 概要 | データケーブル、0.6m (2フィート)、L字型メスコネクタ、Xシリーズ製品 |
リードタイム | 14-21日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | X-DC02-F45-M45 | 概要 | データケーブル、0.6m (2フィート)、L字型コネクタ、Xシリーズ製品 | リードタイム | 14-21日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | X-DC02-M45 | 概要 | データケーブル、0.6m (2フィート)、L字型オスコネクタ、Xシリーズ製品 |
リードタイム | 14-21日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | X-DC02-NP | 概要 | データケーブル、0.6m (2フィート)、電源なし、Xシリーズ製品 |
リードタイム | 14-21日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | X-DC06 | 概要 | データケーブル、0.6m (2フィート)、L字型メスコネクタ、Xシリーズ製品 | リードタイム | 14-21日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | X-DC15 | 概要 | データケーブル、4.5m (15フィート)、Xシリーズ製品 | リードタイム | 14-21日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | X-DC25 | 概要 | データケーブル、7.6m (25フィート)、Xシリーズ製品 | リードタイム | 14-21日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | X-USBDC | 概要 | USB-シリアル変換ケーブル、M8メスプラグ、Xシリーズ製品 | リードタイム | 14-21日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
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