マイクロステップサイズ（デフォルト分解能）

0.00027574° (4.812 µrad)

内蔵コントローラ

〇

動作範囲

360°

精度(一方向)

0.008° (0.139600 mrad)

繰り返し精度

< 0.0015° (< 0.026 mrad)

バックラッシュ

< 0.005° (< 0.087 mrad)

最高速度

60°/s (10 rpm)

エンコーダカウントサイズ

0.00003814°/カウント (0.137304 arcseconds/count)

最低速度

0.000168°/s (2.932 µrad/s)

速度分解能

0.000168°/s (2.932 µrad/s)

エンコーダ分解能

23600 CPR (94400 states/rev)

エンコーダタイプ

ダイレクト光学エンコーダ

通信インターフェース

RS-232

通信プロトコル

Zaber ASCII (デフォルト)、Zaber バイナリ

データケーブル接続

ロック式4ピンM8

最大トルク

7000 N⋅cm (9912.8 oz⋅in)

最大連続トルク

4500 N⋅cm (6372.5 oz⋅in)

最大中心荷重

3000 N (672.8 lb)

最大モーメント(横方向)

200 N⋅m (147.6 ft⋅lb)

ガイドタイプ

クロスローラーベアリング

ステージ上部寸法

240 mm (9.449")

半径方向誤差動作(ラジアル)

+/- 2.5 µm (+/- 0.000098")

軸方向誤差動作(アキシャル)

< 4 µm (< 0.000157")

傾斜誤差動作(チルト)

+/- 0.003° (+/- 52.36 µrad)

ベアリング面オフセット

30.75 mm (1.211")

電源

24～48 VDC

電源プラグ

2ピンネジ端子

最大消費電流

3600 mA

モーター1回転あたりの角

3.5294°

モーター1回転あたりのステップ数

200

モータータイプ

ステッピングモータ（2相）

モーター定格電流

3000 mA/相

インダクタンス

2 mH/相

デフォルト分解能

1/64ステップ

最大角運動量

1.6 kg·m²/s

機械駆動システム

精密ウォームギア

リミットまたはホームセンシング

光学インデックスマーク

ギア比

102 : 1

手動制御

〇

LED インジケーター

〇

取り付けインターフェース

M3およびM6のねじ穴とM6の取り付け穴

動作温度範囲

0～50℃

CE 準拠

〇

真空対応

×

重量

15.6 kg (34.392 lb)

X-RST-AEファミリー ユーザーズマニュアル

Zaber Launcher

Zaber モーションライブラリー