マイクロステップサイズ（デフォルト分解能）

0.00015625° (2.727 µrad)

内蔵コントローラ

〇

動作範囲

360°

精度(一方向)

0.01° (0.174500 mrad)

繰り返し精度

< 0.0015° (< 0.026 mrad)

バックラッシュ

< 0.005° (< 0.087 mrad)

最高速度

24°/s (4 rpm)

エンコーダカウントサイズ

0.00005556°/count (0.200016 arc sec/count

最低速度

0.000095°/s (1.658 µrad/s)

速度分解能

0.000095°/s (1.658 µrad/s)

エンコーダ分解能

1620000 CPR (6480000 states/rev)

エンコーダタイプ

ダイレクト光学エンコーダ

通信インターフェース

RS-232

通信プロトコル

Zaber ASCII (デフォルト)、Zaber バイナリ

データケーブル接続

ロック式4ピンM8

最大トルク

1000 N⋅cm (1416.1 oz⋅in)

最大連続トルク

1000 N⋅cm (1416.1 oz⋅in)

最大中心荷重

500 N (112.1 lb)

最大モーメント(横方向)

2000 N⋅cm (2832.2 oz⋅in)

ステージ上部寸法

120 mm (4.724")

半径方向誤差動作(ラジアル)

+/- 3 µm (+/- 0.000118")

軸方向誤差動作(アキシャル)

< 3 µm (< 0.000118")

傾斜誤差動作(チルト)

+/- 0.0014° (+/- 24.43 µrad)

ベアリング面オフセット

27.11 mm (1.067")

電源

24～48 VDC

電源プラグ

2ピンネジ端子

最大消費電流

1100 mA

モーター1回転あたりの角

2°

モーター1回転あたりのステップ数

200

モータータイプ

ステッピングモータ（2相）

モーター定格電流

1500 mA/相

インダクタンス

6.6 mH/相

デフォルト分解能

1/64ステップ

最大角運動量

0.4 kg·m²/s

機械駆動システム

精密ウォームギア

リミットまたはホームセンシング

磁気ホームセンサー

手動制御

〇

動作温度範囲

0～50℃

CE 準拠

〇

真空対応

×

重量

2.46 kg (5.423 lb)

X-RST-DEファミリー ユーザーズマニュアル

Zaber Launcher

Zaber モーションライブラリー