X-RSM-SV2シリーズ コントローラ内蔵型高真空軽荷重回転ステージ
X-RSM-SV2シリーズ コントローラ内蔵型高真空軽荷重回転ステージ
• 繰り返し精度0.02°
• 4 mmの開口部
• 全高21 mm
• ウォームギア駆動による連続回転
• ステッピングモーターコントローラーとモータードライバーを内蔵し、操作性に優れています
• シリアルポート（X-PIBアダプター使用）経由でデイジーチェーン接続されたすべてのユニットを制御するために必要なフィードスルーケーブルはわずか4本です
特徴
このシリーズについて
真空システムの基礎知識と、アプリケーションの要件をまとめる際に考慮すべき事項の詳細については、技術記事「真空アプリケーションにおけるモーションデバイス設計の考慮事項」をご覧ください。
Zaber社の高真空対応回転ステージであるX-RSM-SV2シリーズは、当社で最もコンパクトなステッピングモータおよびウォームギア駆動デバイスです。これらはスタンドアロンユニットで、電源とデータ接続に4本の配線のみを必要とします。これらのステージは、任意のコンピュータのRS-232ポートまたはUSBポートに接続でき、他のZaber製品とデイジーチェーン接続できます。デイジーチェーン接続では電源も共有されるため、複数のXシリーズ製品で単一の電源を共有できます。
X-RSM-SV2は、真空対応材料を使用して設計されており、アウトガスを最小限に抑え、ポンプダウン時間を短縮します。他のZaber製品と同様に、X-RSM-SV2シリーズは「プラグアンドプレイ」で簡単にセットアップと操作ができます。
1. ステッピングモーターコントローラーとモータードライバーを内蔵し、操作性に優れています。
2. 1回転あたり200ステップのステッピングモーターを搭載し、最大256倍のマイクロステップ制御により、スムーズで高精度な動作を実現します。
3. 高真空対応ステッピングモーター（定格圧力10-6 Torr）。
4. シリアルポート（X-PIBアダプター使用）経由でデイジーチェーン接続された全ユニットを制御するために必要なフィードスルーワイヤーはわずか4本です。
5. デイジーチェーン接続されたユニットを追加することで、配線の煩雑さを軽減できます。電源とデータはチェーン内で共有できます。
6. インターロック式アライメントシステムにより、ジンバルシステムを容易に構築できます。
7. M2（20 mmパターン）およびM3（32 mmパターン）の取り付け穴を備えています。
簡単なセットアップ
簡単セットアップ
わずか4本のフィードスルーワイヤで複数のデバイスを制御・給電
1. コンピューターと真空チャンバーの間にデータケーブルと電源ケーブルを接続します。
2. コントローラー内蔵デバイスは、4本のフィードスルーワイヤ*を介して真空チャンバー内で電力とデータを受信します。
3. Zaber Launcherを使用して指示を送信したり、セットアップを自動化したりできます。
* Xシリーズデバイスの場合、電源はX-PIBを介して供給されます。Tシリーズデバイスの場合、電源供給には5本のフィードスルーワイヤとT-DSUB9-Pが必要です。
真空デバイスのセットアップの詳細については、技術記事「真空アプリケーションにおけるモーションデバイス設計の考慮事項」をご覧ください。
デバイスのセットアップに関する追加情報については、サポートページをご覧ください。スタートガイド、トラブルシューティングガイド、製品ユーザーマニュアル、その他のリソースが掲載されています。
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仕様
マイクロステップサイズ（デフォルト分解能）
- 0.00046875° (8.181 µrad)
内蔵コントローラ
- 〇
動作範囲
- 360°
精度(一方向)
- 0.14° (2.443000 mrad)
繰り返し精度
- < 0.02° (< 0.349 mrad)
バックラッシュ
- < 0.04° (< 0.698 mrad)
最高速度
- 120°/s (20 rpm)
最低速度
- 0.000286°/s (4.992 µrad/s)
速度分解能
- 0.000286°/s (4.992 µrad/s)
エンコーダタイプ
- ×
通信インターフェース
- RS-232
通信プロトコル
- Zaber ASCII (デフォルト)、Zaber バイナリ
データケーブル接続
- M8 4ピン テフロンフライングリードM/F
最大連続トルク
- 20 N⋅cm (28.3 oz⋅in)
最大中心荷重
- 50 N (11.2 lb)
最大モーメント(横方向)
- 30 N⋅cm (42.5 oz⋅in)
ステージ上部寸法
- 40 mm (1.575")
半径方向誤差動作(ラジアル)
- +/- 10 µm (+/- 0.000394")
軸方向誤差動作(アキシャル)
- < 4 µm (< 0.000157")
傾斜誤差動作(チルト)
- +/- 0.011° (+/- 191.99 µrad)
ベアリング面オフセット
- 11 mm (0.433")
電源
- 24～48 VDC
電源プラグ
- なし、X-PIB使用
最大消費電流
- 280 mA
モーター1回転あたりの角移動量
- 6°
モーター1回転あたりのステップ数
- 200
モータータイプ
- ステッピングモータ（2相）
インダクタンス
- 3.5 mH/相
デフォルト分解能
- 1/64ステップ
モーターフレームサイズ
- NEMA 08
機械駆動システム
- 精密ウォームギア
リミットまたはホームセンシング
- 磁気ホームセンサー
手動制御
- 〇
取り付けインターフェース
- M2およびM3取り付け穴
動作温度範囲
- 0～50℃
CE 準拠
- 〇
真空対応
- 高真空（10-6 Torr）
重量
- 0.300 kg (0.661 lb)
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テクニカルサポート&図面ファイル
DLデータシート
2D図面
STEPファイル(.step)
SolidWorks ファイル(.sldasm)
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ソフトウェアとAPIリファレンス
Specifications
型番仕様
| 型番/スペックシートDL | 概要 | リードタイム | 見積もり／お問い合わせ | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型番/スペックシートDL | X-RSM40B-SV2-Datasheet.pdf | 概要 | 40mmステージトップ｜中解像度 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
Accessories
互換アクセサリ
エレクトロニクスとセンサー
| 型番/スペックシートDL | 概要 | リードタイム | 見積もり／お問い合わせ | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型番/スペックシートDL | X-PIB | 概要 | デイジーチェーンパワーインジェクター、Xシリーズ |
リードタイム | 14-21日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
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取り付け用ハードウェア
| 型番/スペックシートDL | 概要 | リードタイム | 見積もり／お問い合わせ | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型番/スペックシートDL | AP135-V | 概要 | ゴニオメーターアダプタープレート、真空対応 |
リードタイム | 14-21日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
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