RSM-V2シリーズ 高真空軽荷重回転ステージ
RSM-V2シリーズ 高真空軽荷重回転ステージ
• 繰り返し精度0.02°
• 全高21 mm
• 開口部4 mm
• ウォームギア駆動による連続回転
• X-MCCシリーズステッピングモーターコントローラーまたは任意の2相ステッピングモーターコントローラーと併用可能
• これらのユニットを制御するために必要なフィードスルーワイヤーはわずか7本
特徴
このシリーズについて
真空システムの基礎知識と、アプリケーションの要件をまとめる際に考慮すべき事項の詳細については、技術記事「真空アプリケーションにおけるモーションデバイス設計の考慮事項」をご覧ください。
Zaber社の高真空対応回転ステージRSM-V2シリーズは、当社で最もコンパクトなステッピングモータおよびウォームギア駆動デバイスです。RSM-V2は、真空対応材料を使用して設計されており、アウトガスを最小限に抑え、ポンプダウン時間を短縮します。Zaber社の他の製品と同様に、RSM-V2シリーズはセットアップと操作が非常に簡単です。
これらのステージは、X-MCCシリーズステッピングモータコントローラとプラグアンドプレイで使用できるよう、D-sub 15ピンオスコネクタで配線されています。真空中ではフライングリード線をコネクタから切断し、真空外で配線を合わせるだけで簡単に接続できます。便利なキットには、無料のソフトウェアと、開梱してすぐにステージを動作させるために必要なすべてのアクセサリが含まれています。
1. これらのユニットを制御するために必要なフィードスルーワイヤはわずか7本です。
2. 1回転あたり200ステップのステッピングモーターを搭載し、最大256倍のマイクロステップ制御により、スムーズで高精度な動作を実現します。
3. 10-6 Torrの高真空対応ステッピングモーターを搭載しています。
4. インターロック式アライメントシステムにより、ジンバルシステムのセットアップが容易です。
5. M2（20 mmパターン）およびM3（32 mmパターン）の取り付け穴を備えています。
簡単なセットアップ
簡単セットアップ
わずか4本のフィードスルーワイヤで複数のデバイスを制御・給電
1. コンピューターと真空チャンバーの間にデータケーブルと電源ケーブルを接続します。
2. コントローラー内蔵デバイスは、4本のフィードスルーワイヤ*を介して真空チャンバー内で電力とデータを受信します。
3. Zaber Launcherを使用して指示を送信したり、セットアップを自動化したりできます。
* Xシリーズデバイスの場合、電源はX-PIBを介して供給されます。Tシリーズデバイスの場合、電源供給には5本のフィードスルーワイヤとT-DSUB9-Pが必要です。
真空デバイスのセットアップの詳細については、技術記事「真空アプリケーションにおけるモーションデバイス設計の考慮事項」をご覧ください。
デバイスのセットアップに関する追加情報については、サポートページをご覧ください。スタートガイド、トラブルシューティングガイド、製品ユーザーマニュアル、その他のリソースが掲載されています。
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仕様
マイクロステップサイズ（デフォルト分解能）
- 0.00046875° (8.181 µrad)
内蔵コントローラ
- ×
推奨コントローラ
- X-MCC (48 V) 推奨
自動検出
- ×
動作範囲
- 360°
精度(一方向)
- 0.14° (2.443000 mrad)
繰り返し精度
- < 0.02° (< 0.349 mrad)
バックラッシュ
- < 0.04° (< 0.698 mrad)
最高速度
- 120°/s (20 rpm)
最低速度
- 0.000286°/s (4.992 µrad/s)
速度分解能
- 0.000286°/s (4.992 µrad/s)
エンコーダタイプ
- ×
最大連続トルク
- 20 N⋅cm (28.3 oz⋅in)
最大中心荷重
- 50 N (11.2 lb)
最大モーメント(横方向)
- 30 N⋅cm (42.5 oz⋅in)
ステージ上部寸法
- 40 mm (1.575")
半径方向誤差動作(ラジアル)
- +/- 10 µm (+/- 0.000394")
軸方向誤差動作(アキシャル)
- < 4 µm (< 0.000157")
傾斜誤差動作(チルト)
- +/- 0.011° (+/- 191.99 µrad)
ベアリング面オフセット
- 11 mm (0.433")
モーター1回転あたりの角移動量
- 6°
モーター1回転あたりのステップ数
- 200
モータータイプ
- ステッピングモータ（2相）
インダクタンス
- 3.5 mH/相
モーター接続
- D-sub15コネクタ付きテフロン製フライングリード線
デフォルト分解能
- 1/64ステップ
モーターフレームサイズ
- NEMA 08
機械駆動システム
- 精密ウォームギア
リミットまたはホームセンシング
- 磁気ホームセンサー
手動制御
- ×
取り付けインターフェース
- M2およびM3取り付け穴
動作温度範囲
- 0～50℃
CE 準拠
- 〇
真空対応
- 高真空 (10-6 Torr)
重量
- 0.300 kg（0.661 lb）
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テクニカルサポート&図面ファイル
DLデータシート
2D図面
STEPファイル(.step)
SolidWorks ファイル(.sldasm)
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Specifications
型番仕様
| 型番/スペックシートDL | 概要 | リードタイム | 見積もり／お問い合わせ | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型番/スペックシートDL | RSM40B-V2T4-Datasheet.pdf | 概要 | 40mmステージトップ｜中解像度 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
Accessories
互換アクセサリ
ケーブルとコネクタ
| 型番/スペックシートDL | 概要 | リードタイム | 見積もり／お問い合わせ | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型番/スペックシートDL | MC03 | 概要 | モーター延長ケーブル、1.5 m、X-MCAシリーズコントローラおよびT3/T4/T3A/T4A周辺機器用 |
リードタイム | 14-21 日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | MC03L060 | 概要 | モーター延長ケーブル、0.6 m、X-MCAシリーズコントローラおよびT3/T4/T3A/T4A周辺機器用 |
リードタイム | 14-21 日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | MC03L300 | 概要 | モーター延長ケーブル、3.0 m、X-MCAシリーズコントローラおよびT3/T4/T3A/T4A周辺機器用 |
リードタイム | 14-21 日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | MC10T3 | 概要 | モーター変換ケーブル、1.5 m、X-MCCシリーズコントローラおよびT3A/T4A/T11A周辺機器用 |
リードタイム | 14-21 日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | MC10T3L060 | 概要 | モーター変換ケーブル、0.6 m、X-MCCシリーズコントローラおよびT3A/T4A/T11A周辺機器用 |
リードタイム | 14-21 日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | MC10T3L300 | 概要 | モーター変換ケーブル、3.0 m、X-MCCシリーズコントローラおよびT3A/T4A/T11A周辺機器用 |
リードタイム | 14-21 日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | MC10T3L450 | 概要 | モーター変換ケーブル、4.5 m、X-MCCシリーズコントローラおよびT3A/T4A/T11A 周辺機器 |
リードタイム | 14-21 日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
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取り付け用ハードウェア
| 型番/スペックシートDL | 概要 | リードタイム | 見積もり／お問い合わせ | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型番/スペックシートDL | AP135-V | 概要 | ゴニオメーターアダプタープレート、真空対応 |
リードタイム | 14-21日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
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