X-VSR-SV1シリーズ コントローラ内蔵型低真空垂直ステージ
X-VSR-SV1シリーズ コントローラ内蔵型低真空垂直ステージ
• 移動量:20 mmまたは40 mm
• 最大速度:48 mm/s、最大推力:200 N
• 耐荷重:10 kg
• 収納時高さ:55 mmまたは85 mm
• シリアルポート(X-PIBアダプタ使用)経由でデイジーチェーン接続された全ユニットを制御するために必要なフィードスルーケーブルはわずか4本
• コントローラー内蔵。他のZaber製品とデイジーチェーン接続可能
特徴
このシリーズについて
真空システムの基礎知識と、アプリケーションの要件をまとめる際に考慮すべき事項の詳細については、当社の技術記事「真空アプリケーションにおけるモーションデバイス設計の考慮事項」をご覧ください。
Zaber社のX-VSR-SV1シリーズは、高真空対応のコンピュータ制御式電動垂直リフトステージで、10kgの荷重を移動できます。スタンドアロンユニットで、標準の24Vまたは48V電源のみを必要とします。これらのステージは、任意のコンピュータのRS-232ポートまたはUSBポートに接続でき、他のZaber製品とデイジーチェーン接続できます。デイジーチェーン接続では電源も共有されるため、複数のXシリーズ製品で単一の電源を共有できます。
Zaber社の他の製品と同様に、X-VSR-SV1シリーズは「プラグアンドプレイ」設計で、セットアップと操作が非常に簡単です。 Z 軸を備えた多軸システムを検討している場合、これらのリフト ステージは優れたプラットフォームになります。
1. デイジーチェーン接続された全ユニットをシリアルポート(X-PIBアダプタ使用)経由で制御するために必要なフィードスルーワイヤはわずか4本です。
2. デイジーチェーン接続されたユニットを追加することで、配線の煩雑さを軽減できます。電源とデータはチェーン内で共有できます。
3. ステッピングモーターコントローラーとモータードライバーを内蔵し、操作性に優れています。
4. 1回転あたり200ステップのステッピングモーターを搭載し、最大256倍のマイクロステップ制御により、スムーズで高精度な動作を実現します。
5. 低真空対応ステッピングモーター(定格圧力10-3 Torr)。
6. ステージトップは、M3およびM6のメトリックネジ穴に対応しています。
7. ステージを閉じた状態の高さは、VSR20では55mm、VSR40では85mmです。

簡単なセットアップ
わずか4本のフィードスルーワイヤで複数のデバイスを制御・給電
1. コンピュータと真空チャンバーの間にデータケーブルと電源ケーブルを接続します。
2. コントローラ内蔵デバイスは、4本のフィードスルーワイヤ*を介して真空チャンバー内で電力とデータを受信します。
3. Zaber Launcherを使用して、指示を送信したり、セットアップを自動化したりできます。
* Xシリーズデバイスの場合、電源はX-PIBを介して供給されます。Tシリーズデバイスでは、電源供給用に5本のフィードスルーワイヤとT-DSUB9-Pが必要です。
真空デバイスのセットアップの詳細については、技術記事「真空アプリケーションにおけるモーションデバイス設計の考慮事項」をご覧ください。
デバイスのセットアップに関する追加情報については、サポートページをご覧ください。スタートガイド、トラブルシューティングガイド、製品ユーザーマニュアル、その他のリソースが掲載されています。
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仕様
マイクロステップサイズ(デフォルト分解能)
- 0.09525 µm
内蔵コントローラ
- 〇
繰り返し精度
- < 1 µm (< 0.000039")
負荷バックラッシュ(10 N)
- < 1 µm (< 0.000394")
最高速度
- 28 mm/s (1.890"/s)
最低速度
- 0.000058 mm/s (0.000002"/s)
速度分解能
- 0.000058 mm/s (0.000002"/s)
最大推力
- 200 N (44.9 lb)
最大連続推力
- 100 N (22.4 lb)
通信インターフェース
- RS-232
通信プロトコル
- Zaber ASCII (デフォルト)、Zaber Binary
データケーブル接続
- M8 4ピン付きテフロン製フライングリードM/F
最大中心荷重
- 100 N (22.4 lb)
最大モーメント(ロール)
- 300 N⋅cm (424.8 オンス⋅インチ)
最大モーメント(ピッチ)
- 300 N⋅cm (424.8 オンス⋅インチ)
最大モーメント(ヨー)
- 300 N⋅cm (424.8 オンス⋅インチ)
ピッチ
- 0.08° (1.396 mrad)
ロール
- 0.08° (1.396 mrad)
ヨー
- 0.08° (1.396 mrad)
電源
- 24~48 VDC
電源プラグ
- なし、X-PIB を使用
最大電流消費量
- 950 mA
モーター1回転あたりの直線移動量
- 1.2192 mm (0.048")
モーター1回転あたりのステップ数
- 200
モータータイプ
- ステッピングモータ(2相)
モーター定格電流
- 700 mA/相
インダクタンス
- 8.7 mH/相
デフォルト解像度
- 1/64 ステップ
機械駆動システム
- 精密リードスクリュー
リミットまたはホームセンシング
- 磁気ホームセンサー
手動制御
- ×
動作軸
- 1
取り付けインターフェース
- M3 および M6 ネジ穴
動作温度範囲
- 0 ~ 50 °C
CE 準拠
- 〇
真空対応
- 高真空 (10-3 Torr)
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テクニカルサポート&図面ファイル
DLデータシート
2D図面
STEPファイル(.step)
SolidWorks ファイル(.sldasm)
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ソフトウェアとAPIリファレンス
Specifications
型番仕様
| 型番/スペックシートDL | 概要 | リードタイム | 見積もり/お問い合わせ | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型番/スペックシートDL | X-VSR20A-SV1-Datasheet.pdf | 概要 | 20 mmトラベル | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | X-VSR40A-SV1-Datasheet.pdf | 概要 | 40 mmトラベル | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
Accessories
互換アクセサリ
ケーブルとコネクタ
| 型番/スペックシートDL | 概要 | リードタイム | 見積もり/お問い合わせ | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型番/スペックシートDL | X-PIB | 概要 | Xシリーズデイジーチェーンに24~48V電源を追加するためのデバイス |
リードタイム | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
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取り付け用ハードウェア
| 型番/スペックシートDL | 概要 | リードタイム | 見積もり/お問い合わせ | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型番/スペックシートDL | AP135-V | 概要 | ゴニオメーターアダプタープレート(真空対応) |
リードタイム | 14-21 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
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電源
| 型番/スペックシートDL | 概要 | リードタイム | 見積もり/お問い合わせ | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型番/スペックシートDL | PS13S-48V12 | 概要 | 電源、48V 1.25A |
リードタイム | 14-21 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | PS14S-48V37 | 概要 | 電源、48V 3.75A |
リードタイム | 14-21 日 | 見積もり/お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
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