真空対応ステージ

名前が示すように、真空ステージまたは真空対応ステージは、コンポーネントのガス放出を最小限に抑える必要があり、対流による放熱に頼ることができない、極低圧環境での動作用に特別に設計されたモーション コントロール デバイスとして定義されます。

Zaber は、オプションでコントローラを内蔵した、真空対応のリニア ステージ、回転ステージ、垂直ステージ、ゴニオメータ、ミラー マウント、リニア アクチュエータの幅広い選択肢を提供しています。

Zaber の真空対応ステージの詳細については、当社の技術記事「真空アプリケーション向けのモーション デバイス設計の考慮事項」をお読みください。