rsm family compact warm geer drive
真空対応ステージ
RSM ファミリー - 超小型ウォーム ギア ドライブ ロータリー ステージ
rsm family compact warm geer drive
- コンパクトで薄型のステージ
- 真空定格バージョンも利用可能
- 内蔵コントローラまたはモーターのみのモデル
- スリップ/ストール検出と自動回復のためのモーター エンコーダ オプション
スペック
Spec- 最高精度
- 0.14° (2.443000 mrad)
- 繰り返し精度
- < 0.02° (< 0.349 mrad)
- バックラッシュ
- < 0.04° (< 0.698 mrad)
- 最高速度
- 120 °/s (20 rpm)
- 最高トルク
- 60 N・cm (85.0 oz・in)
- 耐荷重
- 50 N (11.2 lb)
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型番について
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