リニアステージ
LDM ファミリー｜超高精度、リニア モーター ステージ (水平および垂直)
- 高速・静音動作と長寿命を実現する非接触式ダイレクトドライブモーター
- 移動量：40mm、60mm、110mm、210mm
- 高精度を実現するクロスローラーベアリング設計
- 分解能1nmのリニアエンコーダ
- 最小移動量：4nm
- 磁気カウンターバランスによる垂直方向設置オプション
- 高清浄度環境（ISOクラス4対応）における低粒子発生設計。詳細はクリーンルームガイドをご覧ください。
スペック
Spec- 最短ストローク長
- 40 mm (1.575")
- 最長ストローク長
- 210 mm (8.268")
- 最高精度
- 1 μm (0.000039")
- 繰り返し精度
- < 0.08 μm (< 0.000003")
- 最高速度
- 1200 mm/秒 (47.244"/秒)
- 最大推力
- 100 N (22.4 lb)
- 耐荷重
- 120 N (26.9 lb)
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