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LRQ ファミリー|中負荷、高剛性、スクリュー ドライブ リニア ステージ、LRQ ファミリー - 中負荷、高剛性、スクリュー ドライブ リニア ステージ

LRQ-V2シリーズ 高真空電動リニアステージ

LRQ-V2シリーズ 高真空電動リニアステージ

• 10-6 Torrまでの真空対応
• 移動量:75、150、300、450、600 mm
• 最大速度205 mm/s、最大推力100 N
• 耐荷重100 kg
• これらのユニットを制御するために必要なフィードスルー配線はわずか7本
• X-MCCシリーズステッピングモーターコントローラーまたは任意の2相ステッピングモーターコントローラーと併用できる設計

特徴

 

このシリーズについて
真空システムの基礎知識と、アプリケーションの要件をまとめる際に考慮すべき事項の詳細については、当社の技術記事「真空アプリケーション向けモーションデバイス設計の考慮事項」をご覧ください。

Zaber社のLRQ-V2シリーズは、高真空対応のコンピュータ制御電動リニアステージで、コンパクトなサイズでありながら、高い剛性、耐荷重性、長寿命性を備えています。
高さわずか36mmのこれらの真空ステージは、薄型設計が求められるアプリケーションに最適です。LRQ-V2の革新的な設計により、最大205mm/sの速度と最大100kgの荷重に対応します。Zaber社の他の製品と同様に、LRQ-V2シリーズはセットアップと操作が非常に容易な設計となっています。これらのステージは、ボルトで固定してXYシステムを構築できます。

これらのステージは、D-Sub 15ピンオスコネクタで配線されており、X-MCCシリーズステッピングモーターコントローラーとプラグアンドプレイで使用できます。真空中の配線を切断し、真空外で配線を合わせるだけで簡単に接続できます。当社の便利なキットには、無料のソフトウェアと、箱から出してすぐにステージを動作させるために必要なすべてのアクセサリが含まれています。

1. これらのユニットを制御するために必要なフィードスルー配線はわずか7本です。
2. 1回転あたり200ステップのステッピングモーターを搭載し、最大256倍のマイクロステップ制御により、スムーズで高精度な動作を実現します。
3. 高真空対応ステッピングモーターは、10-6 Torrの定格です。
4. ステージトップは、M4センターマウントを備えたM3およびM6メトリックネジ穴に対応しています。
5. 移動距離は75~600mmで、カスタム長さもご用意しています。
6. 革新的な設計により、優れた速度と耐荷重性能を実現。最大速度205mm/s、耐荷重100kg。
7. 追加のハードウェアなしで、複数のLRQ-SV2ステージをXYまたはXYZ構成で組み立てることができます。

簡単なセットアップ

簡単セットアップ
わずか4本のフィードスルーワイヤで複数のデバイスを制御・給電

1. コンピューターと真空チャンバーの間にデータケーブルと電源ケーブルを接続します。
2. コントローラー内蔵デバイスは、4本のフィードスルーワイヤ*を介して真空チャンバー内で電力とデータを受信します。
3. Zaber Launcherを使用して指示を送信したり、セットアップを自動化したりできます。

* Xシリーズデバイスの場合、電源はX-PIBを介して供給されます。Tシリーズデバイスの場合、電源供給には5本のフィードスルーワイヤとT-DSUB9-Pが必要です。
真空デバイスのセットアップの詳細については、技術記事「真空アプリケーションにおけるモーションデバイス設計の考慮事項」をご覧ください。
デバイスのセットアップに関する追加情報については、サポートページをご覧ください。スタートガイド、トラブルシューティングガイド、製品ユーザーマニュアル、その他のリソースが掲載されています。

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仕様

内蔵コントローラ

×

推奨コントローラー

X-MCC (48 V)

自動検出

×

繰り返し精度

< 2.5 µm (< 0.000098")

最大中心荷重

1000 N (224.3 lb)

最大モーメント (ロール)

30 N⋅m (22.1 ft⋅lb)

最大モーメント (ピッチ)

30 N⋅m (22.1 ft⋅lb)

最大モーメント (ヨー)

30 N⋅m (22.1 ft⋅lb)

ガイドタイプ

循環式ボールリニアガイド

回転剛性(ピッチ)

500 N⋅m/° (35 µrad/N⋅m)

回転剛性(ロール)

1180 N⋅m/° (15 µrad/N⋅m)

回転剛性(ヨー)

450 N⋅m/° (39 µrad/N⋅m)

モーターステップ数(1回転あたり)

200

モータータイプ

ステッピングモーター(2相)

モーター定格電流

2100 mA/相

インダクタンス

2.8mH/相

モーター接続

D-sub15コネクタ付きテフロンフライングリード

デフォルト分解能

1/64 ステップ

機械駆動システム

精密リードスクリュー

リミットまたはホームセンシング

磁気式ホームセンサー

手動制御(ノブ)

×

動作軸

1

取り付けインターフェース

M6 および M3 ネジ穴

動作温度範囲

0 ~ 50 °C

CE 準拠

真空対応

高真空(10-6 Torr)

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ソフトウェアとAPIリファレンス

LRQ-V1シリーズ ユーザーズマニュアル
高真空電動リニアステージ

Zaber Launcher

Zaberデバイスの初期設定、テスト、試運転は、Zaber Launcherで簡単に実施できます。単純なアプリケーションであれば、これだけあれば十分です。Zaber 製品のすべてのユーザーにインストールすることをお勧めするソフトウェアです。

Zaber モーションライブラリー

Zaber デバイスを制御するための独自のコードができます。汎用性の高いプログラミング言語とツールをサポートするライブラリ/API はこちらからご覧頂けます。

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Specifications

型番仕様

型番/スペックシートDL 概要 リードタイム 見積もり/お問い合わせ
型番/スペックシートDL LRQ075AL-V1T4-Datasheet.pdf 概要 75 mm 移動量 | 高精細解像度 | 低速 リードタイム 14-21 日 見積もり/お問い合わせ

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型番/スペックシートDL LRQ075BL-V2T4-Datasheet.pdf 概要 75 mm 移動量 | 中解像度 | 中速 リードタイム 14-21 日 見積もり/お問い合わせ

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型番/スペックシートDL RQ150AL-V2T4-Datasheet.pdf 概要 150 mm 移動量 | 高精細解像度 | 低速 リードタイム 14-21 日 見積もり/お問い合わせ

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型番/スペックシートDL LRQ150BL-V2T4-Datasheet.pdf 概要 150 mm 移動量 | 中解像度 | 中速 リードタイム 14-21 日 見積もり/お問い合わせ

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型番/スペックシートDL LRQ300AL-V2T4-Datasheet.pdf 概要 300 mm 移動量 | 高精細解像度 | 低速 リードタイム 14-21 日 見積もり/お問い合わせ

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型番/スペックシートDL LRQ300BL-V2T4-Datasheet.pdf 概要 300 mm 移動量 | 中解像度 | 中速 リードタイム 14-21 日 見積もり/お問い合わせ

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型番/スペックシートDL LRQ450AL-V2T4-Datasheet.pdf 概要 450 mm 移動量 | 高精細解像度 | 低速 リードタイム 14-21 日 見積もり/お問い合わせ

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型番/スペックシートDL LRQ450BL-V2T4-Datasheet.pdf 概要 450 mm 移動量 | 中解像度 | 中速 リードタイム 14-21 日 見積もり/お問い合わせ

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型番/スペックシートDL LRQ600AL-V2T4-Datasheet.pdf 概要 600 mm 移動量 | 高精細解像度 | 低速 リードタイム 14-21 日 見積もり/お問い合わせ

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型番/スペックシートDL LRQ600BL-V2T4-Datasheet.pdf 概要 600 mm 移動量 | 中解像度 | 中速 リードタイム 14-21 日 見積もり/お問い合わせ

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Accessories

互換アクセサリ

ケーブルとコネクタ

型番/スペックシートDL 概要 リードタイム 見積もり/お問い合わせ
型番/スペックシートDL MC03 概要 モーター延長ケーブル(1.5 m)、X-MCA、X-MCB1、X-MCB2シリーズコントローラおよびT3/T4/T3A/T4A周辺機器用 リードタイム 14-21 日 見積もり/お問い合わせ

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型番/スペックシートDL MC03L060 概要 モーター延長ケーブル(0.6 m)、X-MCA、X-MCB1、X-MCB2シリーズコントローラおよびT3/T4/T3A/T4A周辺機器用 リードタイム 14-21 日 見積もり/お問い合わせ

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型番/スペックシートDL MC03L300 概要 モーター延長ケーブル(3.0 m)、X-MCA、X-MCB1、X-MCB2シリーズコントローラおよびT3/T4/T3A/T4A周辺機器用 リードタイム 14-21 日 見積もり/お問い合わせ

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型番/スペックシートDL MC10T3 概要 モーター変換ケーブル(1.5 m)、X-MCCシリーズコントローラおよびT3A/T4A/T11A周辺機器用 リードタイム 14-21 日 見積もり/お問い合わせ

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型番/スペックシートDL MC10T3L060 概要 モーター変換ケーブル(0.6 m)、X-MCCシリーズコントローラおよびT3A/T4A/T11A周辺機器用 リードタイム 14-21 日 見積もり/お問い合わせ

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型番/スペックシートDL MC10T3L300 概要 モーター変換ケーブル(3.0 m)、X-MCCシリーズコントローラおよびT3A/T4A/T11A周辺機器用 リードタイム 14-21 日 見積もり/お問い合わせ

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型番/スペックシートDL MC10T3L450 概要 モーター変換ケーブル(4.5 m)、X-MCCシリーズコントローラおよびT3A/T4A/T1A周辺機器用
リードタイム 14-21 日 見積もり/お問い合わせ

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エレクトロニクス&センサー

型番/スペックシートDL 概要 リードタイム 見積もり/お問い合わせ
型番/スペックシートDL X-PIB 概要 Xシリーズデイジーチェーンに24~48V電源を追加するためのデバイス リードタイム 14-21 日 見積もり/お問い合わせ

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取り付け用ハードウェア

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型番/スペックシートDL 164-V 概要 アングルブラケット、90度、大型、LRQ、真空対応 リードタイム 14-21 日 見積もり/お問い合わせ

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