内蔵コントローラ

〇

移動範囲

12 mm (0.472")

精度（一方向）

4 µm (0.000157")

繰り返し精度

< 0.5 µm (< 0.000020")

最小インクリメント

200 nm

最大加速度

245 m/s² (24.97 g)

最大速度

1400 mm/s (55.118"/s)

最小速度

0.61 nm/s

速度分解能

0.61 nm/s

エンコーダータイプ

リニアアナログエンコーダ

エンコーダカウント数

1 nm

ピーク推力

26 N (5.8 lb)

最大連続推力

12 N (2.7 lb)

通信インターフェース

RS-232

通信プロトコル

Zaber ASCII (デフォルト)

データケーブル接続

ロック式4ピンM8

最大中心荷重

100 N (22.4 lb)

最大モーメント (ロール)

320 N·cm (453.2 oz·in)

最大モーメント (ピッチ)

120 N·cm (169.9 oz·in)

最大モーメント (ヨー)

120 N·cm (169.9 oz·in)

ガイドタイプ

クロスローラーベアリング

垂直振れ

< 6 µm (< 0.000236")

水平振れ

< 5 µm (< 0.000197")

標準安定速度

0.38 kgの荷重で10 mm/sで± 4.7%ペイロード

ロール

0.01° (0.174 mrad)

ピッチ

0.01° (0.174 mrad)

ヨー

0.01° (0.174 mrad)

回転剛性 (ロール)

50 N⋅m/° (349 µrad/N⋅m)

回転剛性 (ピッチ)

70 N⋅m/° (249 µrad/N⋅m)

回転剛性 (ヨー)

85 N⋅m/° (205 µrad/N⋅m)

電源

24～48 VDC

電源プラグ

2ピン ネジ端子

最大電流消費量

1000 mA

モータータイプ

ボイスコイルリニアアクチュエータ

力定数

12.6 N/A (2.8 lbs/A)

機械駆動システム

ムービングコイル、ダイレクトドライブ

リミットまたはホームセンシング

光学インデックスマーク

手動制御

プッシュスイッチ付き手動制御インデックスノブ

動作軸

1

LED インジケーター

〇

取り付けインターフェース

M3およびM6 ネジ穴

移動質量

0.095 kg (0.209ポンド)

デジタル入力

1

デジタル出力

2

動作温度範囲

0~50 °C

CE 準拠

〇

真空対応

×

重量

0.8 kg (1.764ポンド)

DMQ-AEシリーズ ユーザーズマニュアル

Zaber Launcher

Zaber モーションライブラリー