マイクロステップサイズ（デフォルト分解能）

4.21875 µm

内蔵コントローラ

×

推奨コントローラ

X-MCC(48V)

自動検出

〇

繰り返し精度

< 20 µm (< 0.000787")

バックラッシュ

< 75 µm (< 0.002953")

最低速度

0.002576 mm/s (0.000101"/s)

速度分解能

0.002576 mm/s (0.000101"/s)

エンコーダ解像度

500 CPR (2000 states/rev)

エンコーダタイプ

ロータリー式直交エンコーダ

ピーク推力

55 N (12.3 lb)

最大連続推力

20 N (4.5 lb)

最大中心荷重

200 N (44.9 lb)

最大モーメント (ロール)

15 N⋅m (11.1 ft⋅lb)

最大モーメント (ピッチ)

5 N⋅m (3.7 ft⋅lb)

最大モーメント (ヨー)

5 N⋅m (3.7 ft⋅lb)

ガイドタイプ

循環ボールベアリング

垂直振れ

< 30 µm (< 0.001181")

ピッチの剛性

115 N⋅m/° (152 µrad/N⋅m)

ロールの剛性

145 N⋅m/° (120 µrad/N⋅m)

ヨーの剛性

110 N⋅m/° (159 µrad/N⋅m)

モーター1回転あたりの直線動作

54 mm (2.126")

モーターステップ数（回​​転あたり）

200

モータータイプ

ステッピングモータ（2相）

モーター定格電流

2300 mA/相

モーター巻線抵抗

1 ohms/相

インダクタンス

2.2 mH/相

モーター接続

D-sub 15

デフォルト解像度

1/64 ステップ

機械駆動システム

同期ベルト

リミットまたはホームセンシング

磁気ホームセンサー

手動制御

プッシュスイッチ付きインデックスノブ

動作軸

1

取り付けインターフェース

M6 ネジ穴と8-32ネジ
穴

ステージ平行度

< 100 µm (< 0.000984")

動作温度範囲

0 ～ 50 °C

CE 準拠

〇

真空対応

×

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