X-LRQ-SV2シリーズ コントローラ内蔵型高真空電動リニアステージ
X-LRQ-SV2シリーズ コントローラ内蔵型高真空電動リニアステージ
• 移動量：75、150、300、450、600 mm
• 最大速度205 mm/s、最大推力100 N
• 耐荷重100 kg
• コントローラー内蔵。他のZaber製品とのデイジーチェーン接続が可能
• デイジーチェーン接続されたすべてのユニットをシリアルポート（X-PIBアダプター使用）経由で制御するには、わずか4本のフィードスルーケーブルが必要です
• カスタムバージョンもご用意
特徴
このシリーズについて
真空システムの基礎知識と、アプリケーションの要件をまとめる際に考慮すべき事項の詳細については、技術記事「真空アプリケーションにおけるモーションデバイス設計の考慮事項」をご覧ください。Zaber社のX-LRQ-SV2シリーズは、高真空、コンピュータ制御の電動リニアステージで、コンパクトなサイズでありながら、高い剛性、耐荷重性、長寿命を備えています。スタンドアロンユニットとして動作し、標準の24Vまたは48V電源のみで動作します。
これらのステージは、任意のコンピュータのRS-232ポートまたはUSBポートに接続でき、他のZaber製品とデイジーチェーン接続できます。デイジーチェーン接続では電源も共有されるため、複数のXシリーズ製品で単一の電源を共有できます。
高さわずか36mmのこれらの真空ステージは、薄型が求められるアプリケーションに最適です。X-LRQ-SV2の革新的な設計により、最大205mm/sの速度と最大100kgの荷重に対応します。 Zaberの他の製品と同様に、X-LRQ-SV2シリーズは「プラグアンドプレイ」設計で、セットアップと操作が非常に簡単です。これらのステージはボルトで連結することでXYシステムを構築できます。
1. ステッピングモーターコントローラーとモータードライバーを内蔵し、操作性に優れています。
2. 1回転あたり200ステップのステッピングモーターを搭載し、最大256倍のマイクロステップ制御により、スムーズで高精度な動作を実現します。
3. 高真空対応ステッピングモーター（定格圧力10-6 torr）。
4. ステージトップは、M3およびM6のメトリックネジ穴とM4センターマウントに対応しています。
5. デイジーチェーン接続されたすべてのユニットをシリアルポート経由で制御するには、フィードスルーワイヤー4本のみが必要です（X-PIBアダプター使用）。
6. 追加ケーブルなしでユニットをデイジーチェーン接続できます。また、電源をチェーン内で共有することで、最大4台のデバイスを駆動できます。
7. 移動距離は75～600mmで、カスタム長さもご用意しています。
8. 革新的な設計により、優れた速度と耐荷重性能を実現。最大速度205mm/s、耐荷重100kg。
9. 追加のハードウェアなしで、複数の X-LRQ-SV2 ステージを XY または XYZ に組み立てることができます。
簡単なセットアップ
簡単セットアップ
わずか4本のフィードスルーワイヤで複数のデバイスを制御・給電
1. コンピューターと真空チャンバーの間にデータケーブルと電源ケーブルを接続します。
2. コントローラー内蔵デバイスは、4本のフィードスルーワイヤ*を介して真空チャンバー内で電力とデータを受信します。
3. Zaber Launcherを使用して指示を送信したり、セットアップを自動化したりできます。
* Xシリーズデバイスの場合、電源はX-PIBを介して供給されます。Tシリーズデバイスの場合、電源供給には5本のフィードスルーワイヤとT-DSUB9-Pが必要です。
真空デバイスのセットアップの詳細については、技術記事「真空アプリケーションにおけるモーションデバイス設計の考慮事項」をご覧ください。
デバイスのセットアップに関する追加情報については、サポートページをご覧ください。スタートガイド、トラブルシューティングガイド、製品ユーザーマニュアル、その他のリソースが掲載されています。
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仕様
内蔵コントローラ
- 〇
繰り返し精度
- < 2.5 µm (< 0.000098")
通信インターフェース
- RS-232
通信プロトコル
- Zaber ASCII (デフォルト)、Zaber バイナリ
データケーブル接続
- M8 4ピン オス/メス付きテフロン製フライングリード線
最大中心荷重
- 1000 N (224.3 lb)
最大モーメント (ロール)
- 30 N⋅m (22.1 ft⋅lb)
最大モーメント (ピッチ)
- 30 N⋅m (22.1 ft⋅lb)
最大モーメント (ヨー)
- 30 N⋅m (22.1 ft⋅lb)
ガイドタイプ
- 循環式ボールリニアガイド
回転剛性(ピッチ)
- 500 N⋅m/° (35 µrad/N⋅m)
回転剛性(ロール)
- 1180 N⋅m/° (15 µrad/N⋅m)
回転剛性(ヨー)
- 450 N⋅m/° (39 µrad/N⋅m)
電源
- 24-48 VDC
電源プラグ
- 専用アダプタ X-PIB使用
最大電流消費量
- 1900 mA
モーター回転数
- 200
モータータイプ
- ステッピングモーター(2相)
モーター定格電流
- 2100 mA/相
インダクタンス
- 2.8mH/相
デフォルト解像度
- 1/64 ステップ
機械駆動システム
- 精密リードスクリュー
リミットまたはホームセンシング
- 磁気式ホームセンサー
手動制御(ノブ)
- ×
動作軸
- 1
LED インジケーター
- 〇
取り付けインターフェース
- M6 および M3 ネジ穴
ステージ平行度
- < 25 µm (< 0.000984")
動作温度範囲
- 0 ～ 50 °C
CE 準拠
- 〇
真空対応
- 高真空(10-6 Torr)
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テクニカルサポート&図面ファイル
DLデータシート
2D図面
STEPファイル(.step)
SolidWorks ファイル(.sldasm)
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ソフトウェアとAPIリファレンス
X-LRQ-SV2シリーズ ユーザーズマニュアル
コントローラ内蔵型高真空電動リニアステージ
Zaber Launcher
Zaber モーションライブラリー
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Specifications
型番仕様
| 型番/スペックシートDL | 概要 | リードタイム | 見積もり／お問い合わせ | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型番/スペックシートDL | X-LRQ075AL-SV2-Datasheet.pdf | 概要 | 75 mm 移動量 | 高精細解像度 | 低速 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | X-LRQ075BL-SV2-Datasheet.pdf | 概要 | 75 mm 移動量 | 中解像度 | 中速 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | X-LRQ150AL-SV2-Datasheet.pdf | 概要 | 150 mm 移動量 | 高精細解像度 | 低速 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | X-LRQ150BL-SV2-Datasheet.pdf | 概要 | 150 mm 移動量 | 中解像度 | 中速 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | X-LRQ300AL-SV2-Datasheet.pdf | 概要 | 300 mm 移動量 | 高精細解像度 | 低速 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | X-LRQ300BL-SV2-Datasheet.pdf | 概要 | 300 mm 移動量 | 中解像度 | 中速 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | X-LRQ450AL-SV2-Datasheet.pdf | 概要 | 450 mm 移動量 | 高精細解像度 | 低速 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | X-LRQ450BL-SV2-Datasheet.pdf | 概要 | 450 mm 移動量 | 中解像度 | 中速 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | X-LRQ600AL-SV2-Datasheet.pdf | 概要 | 600 mm 移動量 | 高精細解像度 | 低速 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | X-LRQ600BL-SV2-Datasheet.pdf | 概要 | 600 mm 移動量 | 中解像度 | 中速 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
Accessories
互換アクセサリ
ケーブルとコネクタ
| 型番/スペックシートDL | 概要 | リードタイム | 見積もり／お問い合わせ | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型番/スペックシートDL | MC03 | 概要 | モーター延長ケーブル（1.5 m）X-MCA、X-MCB1、X-MCB2シリーズコントローラおよびT3/T4/T3A/T4A周辺機器用 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | MC03L060 | 概要 | モーター延長ケーブル（0.6 m）X-MCA、X-MCB1、X-MCB2シリーズコントローラおよびT3/T4/T3A/T4A周辺機器用 |
リードタイム | 14-21 日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | MC03L300 | 概要 | モーター延長ケーブル（3.0 m）X-MCA、X-MCB1、X-MCB2シリーズコントローラおよびT3/T4/T3A/T4A周辺機器用 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | MC10T3 | 概要 | モーター変換ケーブル（1.5 m）X-MCCシリーズコントローラおよびT3A/T4A/T11A周辺機器用 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | MC10T3L060 | 概要 | モーター変換ケーブル、(0.6 m)、X-MCCシリーズコントローラおよびT3A/T4A/T11A周辺機器用 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | MC10T3L300 | 概要 | モーター変換ケーブル、(3.0 m)、X-MCCシリーズコントローラおよびT3A/T4A/T11A周辺機器用 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
| 型番/スペックシートDL | MC10T3L450 | 概要 | モーター変換ケーブル、(4.5 m)、X-MCCシリーズコントローラおよびT3A/T4A/T11A周辺機器用 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
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エレクトロニクス＆センサー
| 型番/スペックシートDL | 概要 | リードタイム | 見積もり／お問い合わせ | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型番/スペックシートDL | X-PIB | 概要 | Xシリーズデイジーチェーンに24～48V電源を追加するためのデバイス | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
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取り付け用ハードウェア
| 型番/スペックシートDL | 概要 | リードタイム | 見積もり／お問い合わせ | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型番/スペックシートDL | 164-V | 概要 | アングルブラケット、90度、大型、LRQ、真空対応 | リードタイム | 14-21 日 | 見積もり／お問い合わせ | お問い合わせはこちら |
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